布魯克白光干涉儀輪廓儀使用與維護指南
ContourX-100 是布魯克推出的臺式三維光學輪廓儀，型號為 ContourX-100，屬于非接觸式輪廓儀 / 粗糙度儀范疇，產地為馬來西亞。其核心依托白光干涉（WLI）技術，這一技術積累源于布魯克四十余年的光學創新經驗，可在單次采集過程中結合 3D WLI 與 2D 成像技術完成多項分析。該設備主打小尺寸設計，體積小于 330mm×330mm×550mm，重量不足 18kg，既能適配實驗室場景，也能滿足工廠車間的緊湊布局需求。
二、關鍵性能與適用場景
在測量性能上，ContourX-100 的 Z 軸分辨率不受放大倍率影響，能保持穩定的測量表現。其配備的 500 萬像素攝像頭（2592×1944 分辨率）支持 1X、2X、4X 光學變焦，配合更新后的載物臺，可實現更大范圍的圖形拼接功能。針對不同反射率表面，設備能適配 0.05% 至 100% 的反射率范圍，無論是精密加工件的粗糙表面，還是薄膜的光滑表面，均能完成測量。
在應用場景中，該設備可覆蓋精密工程、MEMS 與傳感器、骨科 / 眼科等多個領域。以精密工程為例，它能監測零部件的表面紋理與幾何尺寸，輔助評估 GD&T 合規性；在 MEMS 領域，可完成刻蝕深度、膜厚、臺階高度等參數的重復性測量。
三、核心組件與技術細節
設備的縱向掃描由閉環反饋壓電陶瓷驅動，縱向運動范圍達 100mm，壓電陶瓷驅動的掃描范圍為 500μm，兩者測量精度均可達 0.1nm，垂向掃描速度為 12μm/sec。載物臺尺寸為 100mm×100mm，支持手動和自動聚焦，具備四向傾斜水平調整功能，偏角調整范圍為 ±5°。
軟件系統搭載 VisionXpress™與 Vision64® 雙界面，內置上千項自定義分析功能和豐富的預編程濾鏡，可滿足 ISO 25178、ASME B46.1、ISO 4287 等多項標準的分析需求，能生成定制化報告。此外，設備還標配 SHS-CrOnSi-10um 臺階高度標準厚度片，用于校準與精度驗證。
四、使用價值與適配優勢
ContourX-100 的設計兼顧了測量能力與操作便捷性，其自動功能包括自動拼接、散射和網格自動化，以及自動對焦、強度調節、數據保存等，能提升測量效率。對于需要移動辦公或多場景數據處理的用戶，設備配套的 Online 在線分析平臺支持上傳 fibps 格式文件，移動端 APP 可實現數據的存儲、查看與離線分析，進一步拓展了使用靈活性。這種硬件與軟件的組合，使其在臺式設備中具備較高的性價比，適合對測量精度和效率有雙重需求的用戶。布魯克白光干涉儀輪廓儀使用與維護指南
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