ZYGO 3D光學輪廓儀結構用材與部件特性

產品簡介

ZYGO 3D光學輪廓儀結構用材與部件特性
正確的操作和定期的維護是保證ZeGage Pro長期穩定運行和測量數據可靠性的重要環節。

產品型號：ZeGage Pro

更新時間：2025-10-23

廠商性質：代理商

訪問量：65

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激光干涉儀

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ZYGO 3D光學輪廓儀結構用材與部件特性

一、整體結構與機身用材

ZeGage Pro 機身采用高強度鋁合金框架，厚度 5mm，經時效處理后抗拉強度達 300MPa，支撐內部精密部件穩定安裝，同時控制整機重量約 35kg，便于實驗室移動。外殼為 ABS+PC 合金塑料，表面啞光處理，抗沖擊且減少環境光反射干擾，防護等級 IP42，可阻擋灰塵與輕微濺液。

機身底部配備 4 個橡膠腳墊（直徑 30mm），摩擦系數 0.8，避免設備移位；頂部操作面板為鋼化玻璃（厚度 3mm，透光率 92%），耐磨防刮，支持觸控操作，日常清潔用無塵布蘸清水擦拭即可。

二、核心部件用材與性能

（一）光學系統用材

物鏡組：鏡片采用高折射率低色散玻璃（LaK 系列），多層鍍膜（每層厚 100-200nm），透光率達 98% 以上，減少色差與雜光。物鏡外殼為不銹鋼（SUS304），同軸度誤≤0.01mm，確保光路精準，適配 5X-50X 不同倍率需求。

干涉儀模塊：核心棱鏡為石英材質（耐溫 - 50℃-200℃，折射率穩定），分光膜采用 dielectric 涂層，分光比誤≤2%，保證干涉信號穩定，支撐 0.05nm 垂直分辨率測量。

光源組件：LED 燈珠為高亮度貼片式（單顆功率 1W，壽命 50000 小時），散熱外殼為鋁合金，帶鰭片結構（間距 2mm），連續工作 4 小時溫度升幅≤15℃，避免亮度衰減。

（二）樣品臺用材

手動樣品臺臺面為航空級鋁合金（表面平整度≤0.005mm），有效承載面積 200mm×150mm，可放重量≤5kg 樣品。移動導軌為不銹鋼（GCr15），淬火后硬度 HRC60，配合 POM 螺母，傳動精度 0.001mm，手動調節順滑無卡頓。

自動樣品臺（選配）驅動電機為步進電機（步距角 1.8°），外殼為釹鐵硼永磁材料，體積小且扭矩足，X/Y 軸行程 100mm×80mm，定位精度 0.0005mm，適配批量樣品自動檢測。

ZYGO 3D光學輪廓儀結構用材與部件特性

三、部件維護要點

光學部件：物鏡每次使用后用專用鏡頭紙蘸鏡頭清潔劑擦拭，禁止用普通紙巾；干涉儀棱鏡每季度用壓縮氣吹清灰，避免擦拭損傷鍍膜。

樣品臺：導軌每月涂專用潤滑脂（鋰基型），手動調節旋鈕定期檢查松緊，過松需緊固螺絲。

機身：外殼避免接觸有機溶劑（如酒精），防止涂層脫落；腳墊磨損后及時更換（原廠型號 ZGP-F01），保證設備水平。

通過科學用材，ZeGage Pro 在保證測量精度的同時，延長部件壽命，適配長期穩定使用需求。

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