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澤攸臺式掃描電鏡結構解析與核心組件

產品簡介

澤攸臺式掃描電鏡結構解析與核心組件
作為一款適用于實驗室及工業場景的臺式掃描電子顯微鏡(SEM),ZEM20的設計兼顧緊湊性與功能性。

產品型號:ZEM20
更新時間:2025-09-30
廠商性質:代理商
訪問量:38
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澤攸臺式掃描電鏡結構解析與核心組件

作為一款適用于實驗室及工業場景的臺式掃描電子顯微鏡(SEM),ZEM20的設計兼顧緊湊性與功能性。其整體結構采用模塊化布局,主要由電子光學系統、真空系統、信號探測與處理系統及操作控制單元四大部分構成,各組件協同工作以實現高質量成像與分析。


電子光學系統是ZEM20的核心。設備搭載熱發射電子槍,通過鎢燈絲加熱發射電子,經聚光鏡、物鏡兩級電磁透鏡聚焦,形成納米級電子束掃描樣品表面。物鏡采用無氧銅材質繞制線圈,減少磁場畸變,提升電子束斑穩定性。值得關注的是,其電子束流可通過軟件調節(范圍5pA-10nA),適配不同導電性樣品的成像需求——低電流適用于脆弱樣品(如生物切片),高電流則用于增強信號強度。
真空系統采用雙級設計,前級為機械泵快速預抽至10?1Pa,后級可選配分子泵進一步提升至10??Pa(高真空模式)或保持10Pa(低真空模式)。低真空模式無需噴金處理,可直接觀察含水或易荷電的非導電樣品(如植物葉片、聚合物材料),擴展了應用場景。真空腔體采用304不銹鋼材質,內壁經電解拋光處理,降低氣體吸附,縮短抽真空時間(高真空模式下約5分鐘)。
信號探測系統配備二次電子探測器(SE)與背散射電子探測器(BSE)。SE探測器通過Everhart-Thornley柵網收集樣品表面二次電子,側重形貌觀察;BSE探測器采用固態硅漂移技術,對成分差異敏感,可區分樣品中不同元素區域(如金屬合金中的相分布)。兩種探測器均支持軟件切換,用戶可根據需求選擇成像模式。
操作控制單元集成15英寸觸控屏,界面直觀顯示真空狀態、電子束參數及實時圖像。設備支持外接電腦控制,兼容Windows系統,便于數據存儲與后期分析。接口方面,預留USB、HDMI及網口,可連接相機、打印機或實驗室信息管理系統(LIMS)。
ZEM20的型號根據配置差異分為基礎版(ZEM20-B)與專業版(ZEM20-P)。基礎版側重教學與常規檢測,標配SE探測器;專業版增加BSE探測器、自動聚焦功能及更大的樣品倉(可容納直徑30mm樣品),適合科研級需求。
從結構設計可見,ZEM20通過優化電子光學路徑、靈活的真空模式及多探測器配置,在緊湊機身內實現了功能的平衡。其核心組件的選材(如無氧銅線圈、304不銹鋼腔體)與模塊化布局,既保證了成像穩定性,也為后續升級預留了空間


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