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產品簡介
布魯克三維光學輪廓儀半導體行業(yè)的應用半導體制造對形貌控制的嚴苛要求，使ContourX-500成為晶圓廠與封裝測試企業(yè)的關鍵設備。其非接觸式測量與納米級分辨率，可覆蓋前道制程與后道封裝的多樣化需求。
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布魯克三維光學輪廓儀半導體行業(yè)的應用
半導體制造對形貌控制的嚴苛要求，使ContourX-500成為晶圓廠與封裝測試企業(yè)的關鍵設備。其非接觸式測量與納米級分辨率，可覆蓋前道制程與后道封裝的多樣化需求。
晶圓表面缺陷檢測
在12英寸晶圓生產中，設備采用50X物鏡與0.1nm垂直分辨率，可識別0.1μm級的顆粒污染與劃痕。通過“彩色超深度"成像模式，系統能區(qū)分金屬互連層（反射率＞80%）與介質層（反射率＜20%）的缺陷類型。某8英寸晶圓廠應用顯示，設備檢測速度達20片/小時，較傳統臺階儀提升5倍，漏檢率低于0.3%。
優(yōu)良封裝形貌分析
針對3D封裝中的TSV（硅通孔）結構，白光干涉模式可穿透透明氧化層，直接測量銅柱高度（重復性≤5nm）與側壁粗糙度（Sa≤3nm）。通過“消零輔助"功能，設備可自動補償樣品傾斜，在分析20mm×20mm的WLP（晶圓級封裝）時，平面度測量誤≤0.5μm。某封裝測試企業(yè)反饋，ContourX-500幫助其將TSV填充不良率從0.8%降至0.2%。
MEMS器件動態(tài)特性研究
聚焦變化模式支持高速三維掃描，在分析MEMS加速度計懸臂梁振動時，采樣頻率可達1kHz，完整記錄10μm幅值的周期性形變。結合頻譜分析工具，可提取1Hz至500Hz頻段的諧振頻率，為器件設計優(yōu)化提供數據支撐。法國某研究所利用該功能，將MEMS陀螺儀的零偏穩(wěn)定性指標提升15%。
布魯克三維光學輪廓儀半導體行業(yè)的應用