在精密測(cè)量設(shè)備領(lǐng)域，參數(shù)配置與實(shí)際應(yīng)用適配度是用戶關(guān)注的核心。ZYGO 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro 憑借精心設(shè)計(jì)的參數(shù)體系、優(yōu)質(zhì)用材及廣泛的場(chǎng)景適配能力，為不同行業(yè)用戶提供可靠測(cè)量支持。
詳細(xì)參數(shù)配置
ZeGage Pro 擁有豐富且實(shí)用的參數(shù)配置，滿足多樣測(cè)量需求。在測(cè)量范圍方面，垂直測(cè)量范圍覆蓋從 0.1μm 到 10mm，可應(yīng)對(duì)從微觀結(jié)構(gòu)到較大尺寸工件的表面測(cè)量；水平視場(chǎng)根據(jù)搭配的物鏡不同有所差異，搭配 5 倍物鏡時(shí)水平視場(chǎng)約為 2.6mm×2.0mm，搭配 10 倍物鏡時(shí)約為 1.3mm×1.0mm，用戶可根據(jù)測(cè)量對(duì)象大小靈活選擇。
分辨率上，垂直分辨率可達(dá) 0.1nm，能捕捉到工件表面細(xì)微的高度變化；水平分辨率與物鏡倍率相關(guān)，10 倍物鏡下水平分辨率約為 0.65μm，可清晰呈現(xiàn)表面微觀紋理。測(cè)量速度方面，單次全范圍掃描時(shí)間最短可至 1 秒，在保證測(cè)量精度的同時(shí)，有效提升測(cè)量效率，減少等待時(shí)間。
數(shù)據(jù)處理能力也不容小覷，設(shè)備搭載的專用處理器可快速處理海量測(cè)量數(shù)據(jù)，生成三維形貌圖、輪廓曲線、粗糙度參數(shù)等多種分析結(jié)果，且支持多種數(shù)據(jù)格式導(dǎo)出，方便與其他分析軟件協(xié)同使用。
優(yōu)質(zhì)用材選擇
ZeGage Pro 在關(guān)鍵部件用材上嚴(yán)格把控，確保設(shè)備性能穩(wěn)定與耐用性。儀器主體框架采用高強(qiáng)度鑄鋁材料，鑄鋁材料具有良好的剛性與輕量化特性，既能為內(nèi)部精密部件提供穩(wěn)固支撐，減少外界振動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響，又便于設(shè)備搬運(yùn)與安裝。
光學(xué)系統(tǒng)中的核心鏡片選用高透過(guò)率光學(xué)玻璃，這種玻璃經(jīng)過(guò)特殊工藝處理，透光率可達(dá) 99% 以上，能大程度減少光線損耗，保證干涉信號(hào)的清晰穩(wěn)定，為精準(zhǔn)測(cè)量提供基礎(chǔ)。同時(shí)，鏡片表面鍍有多層增透膜，有效降低反射光干擾，進(jìn)一步提升光學(xué)系統(tǒng)性能。
運(yùn)動(dòng)部件如壓電掃描器的核心組件采用壓電陶瓷材料，壓電陶瓷具有優(yōu)異的壓電效應(yīng)與響應(yīng)速度，在電壓控制下可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精準(zhǔn)位移，且長(zhǎng)期使用穩(wěn)定性好，不易出現(xiàn)性能衰減。設(shè)備臺(tái)面則采用耐磨不銹鋼材質(zhì)，不銹鋼臺(tái)面表面經(jīng)過(guò)精密研磨處理，平整度高，同時(shí)具備良好的抗腐蝕與耐磨性，可長(zhǎng)期保持臺(tái)面精度，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
多行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景
在電子行業(yè)，ZeGage Pro 可用于芯片封裝檢測(cè)。芯片封裝過(guò)程中，焊點(diǎn)高度、焊盤(pán)平整度直接影響芯片性能與可靠性，借助設(shè)備的高分辨率測(cè)量能力，可精準(zhǔn)測(cè)量焊點(diǎn)高度偏差與焊盤(pán)平面度，及時(shí)發(fā)現(xiàn)封裝缺陷，保障芯片質(zhì)量。此外，還能對(duì)顯示屏面板表面的觸控層厚度、表面粗糙度進(jìn)行測(cè)量，確保顯示屏觸控靈敏度與顯示效果。
在光學(xué)元件制造領(lǐng)域，適用于透鏡、棱鏡等元件的表面測(cè)量。透鏡表面的曲率半徑、面型誤差會(huì)影響光學(xué)成像質(zhì)量，通過(guò) ZeGage Pro 可快速獲取透鏡表面三維形貌數(shù)據(jù)，計(jì)算出面型誤差參數(shù)，為透鏡加工精度控制提供依據(jù)。對(duì)于棱鏡的棱角角度、表面平整度測(cè)量，設(shè)備也能精準(zhǔn)完成，助力光學(xué)元件制造企業(yè)提升產(chǎn)品品質(zhì)。
在醫(yī)療器械行業(yè)，可用于人工關(guān)節(jié)表面粗糙度測(cè)量。人工關(guān)節(jié)表面粗糙度直接關(guān)系到患者使用舒適度與關(guān)節(jié)使用壽命，ZeGage Pro 能精準(zhǔn)測(cè)量關(guān)節(jié)表面粗糙度參數(shù)，幫助制造商優(yōu)化加工工藝，生產(chǎn)出更符合醫(yī)療標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。同時(shí)，還可對(duì)醫(yī)療器械中的微通道結(jié)構(gòu)尺寸、表面平整度進(jìn)行檢測(cè)，保障醫(yī)療器械的使用性能與安全性。
無(wú)論是參數(shù)配置、用材選擇還是應(yīng)用場(chǎng)景適配，ZeGage Pro 都展現(xiàn)出強(qiáng)勁實(shí)力，為各行業(yè)精密測(cè)量需求提供有力保障，助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。
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