在微觀測量領(lǐng)域，單一技術(shù)往往難以應(yīng)對復(fù)雜多樣的測量需求。Sensofar 推出的新型共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀 S neox，憑借共聚焦、干涉與多焦面疊加技術(shù)的融合應(yīng)用，為用戶帶來了更為全面的測量解決方案。
從技術(shù)原理來看，共聚焦技術(shù)通過針孔過濾掉非焦點(diǎn)光線，能夠獲取高對比度的二維圖像，在此基礎(chǔ)上進(jìn)行縱向掃描，即可構(gòu)建出樣品表面的三維形貌。S neox 的共聚焦模塊橫向分辨率可達(dá) 0.10um，這意味著即便是微小的線條或縫隙，也能被清晰識(shí)別。當(dāng)搭配 150 倍、0.95 數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，對于光滑表面的測量斜率能達(dá)到 70°，粗糙表面則可達(dá)到 86°，面對具有一定傾斜角度的樣品表面，也能保持良好的測量效果。其的共聚焦算法讓 Z 軸測量重復(fù)性穩(wěn)定在納米級(jí)別，為數(shù)據(jù)的可靠性提供了有力保障。
干涉技術(shù)是 S neox 另一重要技術(shù)支撐，分為相位差干涉和白光干涉。相位差干涉利用光的相位變化進(jìn)行測量，縱向分辨率可達(dá)亞納米級(jí)，且在不同放大倍數(shù)下均能保持這一精度。例如使用 2.5 倍鏡頭時(shí)，既能實(shí)現(xiàn)較大視場的觀測，又能獲得超高的縱向測量精度，非常適合對大面積光滑表面進(jìn)行精細(xì)測量。白光干涉則基于白光的低相干特性，通過分析干涉條紋的變化來計(jì)算表面高度，縱向分辨率為納米級(jí)，適用范圍廣泛，無論是光滑表面還是略帶粗糙的表面，都能準(zhǔn)確測量，且同樣不受放大倍數(shù)影響。
多焦面疊加技術(shù)是 S neox 針對粗糙表面測量開發(fā)的特色功能。對于那些起伏較大、傳統(tǒng)共聚焦技術(shù)難以一次性清晰成像的樣品，該技術(shù)通過快速采集不同焦平面的圖像并進(jìn)行疊加處理，能夠完整還原表面形貌。其掃描速度可達(dá) mm/s 級(jí)別，在保證效率的同時(shí)，最大支持 86° 的測量斜率，對于工件、模具等具有復(fù)雜表面的樣品測量來說，是非常實(shí)用的功能。
在硬件配置上，S neox 的光學(xué)鏡頭選用低色散光學(xué)玻璃，有效減少了色差對成像質(zhì)量的影響，再加上多層增透膜的處理，大幅提升了光線透過率，使圖像細(xì)節(jié)更加清晰。鏡頭鏡筒采用不銹鋼材質(zhì)，具有良好的機(jī)械穩(wěn)定性，在溫度變化或輕微振動(dòng)的環(huán)境中，不易發(fā)生形變，確保了光學(xué)系統(tǒng)的同軸度，維持了測量精度的穩(wěn)定性。樣品臺(tái)導(dǎo)軌采用精密滾珠結(jié)構(gòu)，并覆蓋耐磨涂層，不僅移動(dòng)順滑，還能長期保持良好的運(yùn)動(dòng)精度，保證樣品定位的準(zhǔn)確性。
參數(shù)方面，S neox 提供了豐富的配置選擇，樣品臺(tái)尺寸多樣，最大可容納 700×600mm2 的樣品，滿足不同規(guī)格樣品的測量需求。設(shè)備整體尺寸約為 600mm×500mm×750mm，重量在 70kg 以內(nèi)，臺(tái)式一體化設(shè)計(jì)使其能輕松融入各類實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)環(huán)境。
操作方面，S neox 配備的 SensoSCAN 軟件界面簡潔明了，即使是初次使用的用戶，也能快速上手。軟件具備導(dǎo)航預(yù)覽功能，可自動(dòng)大范圍掃描樣品，幫助用戶快速定位測量區(qū)域，且在轉(zhuǎn)換放大倍數(shù)時(shí)，預(yù)覽圖會(huì)實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前觀察位置，提升操作便捷性。若需要更專業(yè)的分析功能，可增配 SensoPRO LT 或 SensoMAP 軟件。SensoPRO LT 支持全自動(dòng)測量，適合生產(chǎn)線質(zhì)量管控，其插件式分析模塊可根據(jù)需求靈活增減，涵蓋 LED 行業(yè) PSS、Bump、粗糙度等多種分析場景，還能進(jìn)行定制開發(fā)。SensoMAP 則基于 Mountains 平臺(tái)，提供 2D、3D、4D 分析、粒度分析等多種功能模塊，滿足科研級(jí)別的深度分析需求。
無論是精密制造中的質(zhì)量檢測，還是材料科學(xué)中的表面分析，S neox 憑借多技術(shù)融合的優(yōu)勢，都能提供穩(wěn)定可靠的測量數(shù)據(jù)，為各行業(yè)的研發(fā)與生產(chǎn)提供有力支持。
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