布魯克ContourX-200三維表面測量的實(shí)用之選

在工業(yè)研發(fā)與質(zhì)量控制中，對材料表面進(jìn)行三維形貌測量是一項(xiàng)常見需求。布魯克公司的ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀，為這一領(lǐng)域提供了一個(gè)值得考慮的選擇。它基于相移干涉技術(shù)（PSI）和白光垂直掃描干涉技術(shù)（VSI），能夠適應(yīng)多種表面的測量任務(wù)。

從外觀上看，ContourX-200結(jié)構(gòu)緊湊，設(shè)計(jì)注重用戶操作的便利性。其核心部件是一個(gè)集成化的光學(xué)頭，內(nèi)部包含了精密的光學(xué)系統(tǒng)和傳感器。儀器基座和主要結(jié)構(gòu)件采用了金屬材料，保證了平臺(tái)的穩(wěn)定性和抗振能力，這對于獲得清晰的干涉條紋和穩(wěn)定的測量數(shù)據(jù)很有幫助。樣品臺(tái)為手動(dòng)控制，表面經(jīng)過磨砂處理，既防滑又耐刮擦，承重能力可以滿足大多數(shù)中小型工件的測量需求。

該儀器的性能特點(diǎn)在于其非接觸式的測量方式。它不會(huì)對柔軟、光滑或易損壞的表面造成劃傷或壓迫，保持了樣品的完整性。其垂直掃描能力允許它測量具有一定陡峭傾角或較大臺(tái)階高度的表面形貌。在操作軟件方面，它配備了直觀的Vision64®界面，用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)點(diǎn)擊完成對焦、光線調(diào)節(jié)、圖像捕獲以及數(shù)據(jù)分析的全流程。

ContourX-200的用途廣泛，適用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、精密加工、微電子及學(xué)術(shù)研究等多個(gè)領(lǐng)域。無論是檢測鏡面、拋光表面的微小粗糙度，還是分析磨砂、微結(jié)構(gòu)表面的臺(tái)階高度與體積，它都能提供有價(jià)值的三維數(shù)據(jù)。

基本參數(shù)概覽：

• 型號(hào)： ContourX-200

• 測量技術(shù)： PSI (相移干涉術(shù)) 和 VSI (白光垂直掃描干涉術(shù))

• 物鏡選項(xiàng)： 多種倍率可選（如2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X）

• Z軸掃描范圍： 可達(dá)數(shù)毫米級(jí)別（具體取決于物鏡配置）

• 橫向分辨率： 與所選物鏡的倍率相關(guān)

• 平臺(tái)尺寸： 適用于多數(shù)中小樣品

• 數(shù)據(jù)輸出： 三維形貌圖、二維輪廓線、粗糙度參數(shù)（Sa, Sq, Sz等）、臺(tái)階高度、體積等多項(xiàng)指標(biāo)

使用前，需將儀器安置在穩(wěn)固的實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，并避免強(qiáng)振動(dòng)和直射光的環(huán)境。開機(jī)后，預(yù)熱片刻以使系統(tǒng)性能穩(wěn)定。放置樣品，通過手動(dòng)旋鈕調(diào)整樣品臺(tái)位置，在軟件實(shí)時(shí)視窗中尋找觀測區(qū)域。選擇合適的物鏡和測量模式，即可開始自動(dòng)測量。完成后，可利用軟件內(nèi)置的強(qiáng)大分析工具進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和報(bào)告生成。

布魯克ContourX-200三維表面測量的實(shí)用之選