ZYGO白光干涉光學輪廓儀采用非接觸式測量技術，適用于高精度表面形貌分析，廣泛應用于科研、半導體和精密制造領域。ZYGO白光干涉儀：微納表面測量工具 zygo 白光干涉光學輪廓

產品細節與性能

• 光學系統：采用高穩定性干涉光學設計，搭配低噪聲CCD傳感器，確保測量數據穩定。

• 掃描能力：垂直分辨率可達0.1nm，橫向分辨率優于1μm，適應微米至納米級測量需求。

• 軟件功能：配備專業分析軟件，支持3D形貌重建、粗糙度分析、臺階高度測量等功能。

用材與結構

• 機身采用高剛性鋁合金框架，減少環境振動影響。

• 光學元件鍍有防反射膜，提高信噪比，適應高反光或低反射率樣品。

主要型號

• NewView™ 9000：適用于高精度科研及工業檢測。

• NewView™ 7000：經濟型，適合常規實驗室使用。

典型應用

• 半導體晶圓表面缺陷檢測

• 光學元件面形測量

• MEMS器件三維形貌分析

使用說明

1. 開機預熱15分鐘，確保光源穩定。

2. 選擇合適物鏡，調整樣品臺焦距。

3. 啟動自動掃描，軟件自動處理數據并生成報告。

ZYGO白光干涉儀：微納表面測量工具 zygo 白光干涉光學輪廓