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產品簡介
Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案Sensofar白光干涉儀采用優良的光學干涉技術，為微納米級表面形貌測量提供可靠解決方案，廣泛應用于半導體、精密制造和材料科學研究領域。
產品分類
Sensofar白光干涉儀采用優良的光學干涉技術，為微納米級表面形貌測量提供可靠解決方案，廣泛應用于半導體、精密制造和材料科學研究領域。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案
非接觸式測量：避免樣品損傷
多模式檢測：支持白光干涉、共聚焦和相移干涉模式
大范圍測量：Z軸測量范圍可達數毫米
快速掃描：單次測量時間可控制在秒級
光學系統：高精度物鏡組，可選2.5X-100X多種倍率
機械結構：大理石基座配合精密導軌，確保穩定性
探測系統：高靈敏度CCD傳感器
| 型號 | S neox | S mart |
|---|---|---|
| 垂直分辨率 | 0.1nm | 0.5nm |
| 水平分辨率 | 0.5μm | 1μm |
| 測量速度 | 5秒/次 | 10秒/次 |
| 最大樣品尺寸 | 200mm | 150mm |
| 工作距離 | 20-80mm | 15-50mm |
半導體晶圓表面缺陷檢測
MEMS器件三維形貌分析
光學元件表面質量評估
金屬材料粗糙度測量
樣品準備：確保待測表面清潔無污染
參數設置：根據樣品特性選擇合適的光學模式和放大倍率
自動對焦：使用軟件自動對焦功能獲取清晰圖像
數據分析：通過配套軟件進行三維重建和參數計算
定期清潔光學元件
保持工作環境溫濕度穩定
避免震動和強磁場干擾
結語：
Sensofar白光干涉儀以可靠的測量性能和靈活的應用配置，為工業檢測和科研工作提供有力支持。如需了解更多技術細節或測試服務，歡迎聯系當地技術支持團隊。Sensofar白光干涉儀高分辨表面分析解決方案