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產品中心臺式電鏡&臺階儀&原位分析澤攸臺階儀全自動臺階儀 JS3000B
產品簡介
國產全自動臺階儀 JS3000B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結構，提供穩定可靠的重復性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。
產品分類
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應用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量
▲ 各式薄膜等應力測量
▲ 3D掃描成像
▲ 計劃任務和多點掃描
▲ 批量測試晶圓，批量處理數據等
▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)
▲ JS300B
▲ 高度校準標樣
▲ FFU模塊
▲ 靜電消除模塊
▲ E84接口
軟件界面
掃描圖
18nm樣品
68um樣品